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第495章 简直像是做梦一样!(2 / 2)

“不,今天过来看了你们研发的EUV光刻机,我觉得他们并没有说错。”陈立新感慨不已,“我经常说,科研一道,不论资排辈,就看科研水平、科研成绩。”

“小江,你值得给予更高更大的平台,去实现自己的人生价值,也为华国科技发展提供强劲助力。”

这是非常重的期盼。

江奕辰感觉肩膀有些沉重,“部长,您放心,我将尽我所能。”

又聊了一会,专家组纷纷结束了评测,凑了过来。

“简直不可思议!”

“是啊,这种光源激发方式,我们听过,但没有想到有这么巧妙的实现办法。”

“我们检测了芯片制程,单次曝光就达到了25n!”

“有这么好的曝光精度,芯片制程可以轻易实现14n,甚至等效7n、5n,3n都不无可能!”

众所周知,芯片制程达到14n之后,后续的7n一类,均是等效。

“而且,你们注意到没有,这台光刻机的稳定性也非常出色。”一位专家补充道,“在连续多批次的测试中,它的曝光均匀性和线宽控制都保持了极高的水准,这对于提高芯片生产的良品率至关重要。”

全都是高水平的专家,但在这里,看到这个刚刚制造出炉,就运输到旁边的辰芯微生产线的EUV光刻机。

他们在进入超洁净车间实际检测之后,纷纷对这台光刻机表达了欣喜和激动之情。

在苦苦愁着dUV光刻机的时候,一个天大的好消息降临。

庐州的华辰微电子制造出来了EUV光刻机?!

他们从最初的绝不相信,认为是有人来骗补助,到如今完全被征服。

这台EUV光刻机,数十万个部件,无不显露出科技的魅力。

陈立新脸上有喜色,“这么说,你们专家组都认为这台EUV光刻机是成功的?”

“当然,这不仅是成功,而且是比较成熟的设计!”

“是的,这技术我看阿斯麦也没有!”

“从来没想到,还能有这么一种光源激发方式,无非就是浪费一些稀有气体罢了,这一点我们华国是稀有气体制造强国。”

至于是什么稀有气体,有些东西需要保密。

“很好!”

陈立新道,“3天后,有关领导会前来视察,届时新闻将正式对外宣布,江总,没问题吧?”

江奕辰点头,“没问题,我们已经做好了准备。”

这是应有之义。

也是应对当前米方最新的发言。

他们竟然宣布,将在近期禁售华国部分高精尖技术产品。

其中,便明确了197n湿式光刻机。

至于EUV光刻机,早就是禁售名单。

这一次,明确湿式光刻机,便有阿斯麦的因素。

因为,他们收到的消息是,辰芯微面临破产,妄图花大钱订购湿式光刻机。

……

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